太赫茲功能器件表面增透膜研究進展

摘要： 工作于太赫茲波段的功能器件常以硅、鍺等高折射率材料為界面，這會導致界面與空氣的阻抗失配，從而引起不必要的光能損失。在界面鍍制增透膜可以有效減小反射率、增加透射率，從而大大提高器件性能，因此增透膜的研制具有重要意義?；谏鲜龅膽眯枨?，首先介紹太赫茲增透膜的研究意義，然后著重介紹目前國內外制備太赫茲增透膜的幾種常見方法，并分析各自的優(yōu)缺點，最后對太赫茲增透膜的研究進行總結和展望。