脈沖寬度對激光驅動微滴前向轉移的影響

摘要： 激光驅動微滴前向轉移工藝在三維金屬微結構打印方面具有重要的應用前景。脈沖寬度是影響微滴轉移行為的一個重要因素，但是目前的研究對于不同脈寬下微滴產生以及沉積行為認識不夠充分。本文以500 nm銅膜為對象，開展了5種不同脈寬下激光驅動微滴前向轉移實驗。研究結果表明，隨著脈沖寬度的增大，獲得完整微滴的激光驅動微滴前向轉移工藝最低以及最高能流密度閾值逐漸增高，同時脈寬對沉積微滴形貌有顯...