移相干涉測(cè)量中的抗振技術(shù)綜述
激光與光電子學(xué)進(jìn)展
頁(yè)數(shù): 11 2023-10-10
摘要: 移相干涉術(shù)是一種高靈敏度的非接觸式光學(xué)測(cè)量方法。該方法在光學(xué)表面測(cè)量、形變測(cè)量等許多方面被廣泛應(yīng)用。然而環(huán)境振動(dòng)對(duì)該方法的測(cè)量結(jié)果可能產(chǎn)生不可忽視的影響,包括造成條紋抖動(dòng)、干涉圖模糊等現(xiàn)象。為了解決這個(gè)問(wèn)題,提高移相干涉測(cè)量結(jié)果的穩(wěn)定性,干涉測(cè)量中的抗振技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生。本文將抗振技術(shù)分為主動(dòng)與被動(dòng)兩大類(lèi),主動(dòng)抗振旨在隔振,即削弱傳播至干涉系統(tǒng)的振動(dòng)信號(hào)強(qiáng)度;被動(dòng)抗振旨在消振,即消...