放電泵浦深紫外準(zhǔn)分子激光關(guān)鍵技術(shù)與應(yīng)用

摘要： 準(zhǔn)分子激光是大功率輸出的深紫外波段激光光源，在多方面具有獨(dú)特的應(yīng)用，然而國(guó)內(nèi)的準(zhǔn)分子激光行業(yè)在關(guān)鍵技術(shù)、高端產(chǎn)品等方面和國(guó)外仍有一定差距，存在著“卡脖子”的狀況。首先介紹了準(zhǔn)分子激光的基本特性、應(yīng)用分類、國(guó)內(nèi)外的發(fā)展情況等；其次著重介紹了放電泵浦準(zhǔn)分子激光的基本結(jié)構(gòu)和目前實(shí)用器件的多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，主要包括快脈沖激勵(lì)源、氣體放電腔、光學(xué)諧振腔等；最后，介紹了放電泵浦準(zhǔn)分子激光在工業(yè)...