閃耀光柵錐面衍射的標(biāo)量分析

摘要： 基于擴展標(biāo)量衍射理論，同時對于透射和反射的情況，考慮了入射光的方位角（即錐面衍射），推導(dǎo)了閃耀光柵任意衍射級次的相對衍射效率。證明在分別以平面和介質(zhì)分界面為界對閃耀光柵運用擴展標(biāo)量理論時，得到的相對衍射效率公式不同，但是得到的最優(yōu)化深度和閃耀波長相同，并給出了相應(yīng)的顯式表達式。以特定參數(shù)的閃耀光柵為例，分別將兩種相對衍射效率公式與嚴格耦合波理論進行了比較，結(jié)果表明，兩種公式差距...