飛秒激光減材法制備透明材料內(nèi)部三維微納連通結(jié)構(gòu)研究進(jìn)展

摘要： 隨著通信、醫(yī)學(xué)、化學(xué)、分析等領(lǐng)域的不斷發(fā)展，微全分析系統(tǒng)、芯片實(shí)驗(yàn)室、微機(jī)電系統(tǒng)、高精度微納器件開始出現(xiàn)并得到應(yīng)用，這些系統(tǒng)或結(jié)構(gòu)部分通過飛秒激光在透明材料內(nèi)部制備三維微納連通結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)。為此，本文介紹了飛秒激光制備透明材料內(nèi)部三維微納結(jié)構(gòu)的主要技術(shù)，列舉了三維微納連通結(jié)構(gòu)的主要應(yīng)用，分析了當(dāng)前飛秒激光制備三維微納連通結(jié)構(gòu)存在的問題，并對(duì)該技術(shù)未來發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了展望。