基于改進Yolov5s的光刻熱點檢測算法

摘要： 光刻熱點檢測是實現(xiàn)集成電路可制造性設(shè)計，保障集成電路芯片最終良率的關(guān)鍵。鑒于傳統(tǒng)基于深度學習的光刻熱點檢測方法難以滿足先進集成電路制造對檢測精度的要求，提出了一種基于改進Yolov5s的檢測算法，用于光刻版圖熱點缺陷的精確檢測。通過將坐標注意力機制引入骨干網(wǎng)絡(luò)，提高了Yolov5s模型對版圖圖形區(qū)域的關(guān)注度，進而極大地改善了基于Yolov5s的檢測算法的光刻熱點檢測性能。與此同...