AlGaN基深紫外微型發(fā)光二極管的研究進展(特邀)

摘要： 隨著AlGaN基深紫外發(fā)光二極管(DUV LED)的發(fā)展，其不僅在殺菌消毒領域得到廣泛應用，在日盲紫外光通信領域的應用也受到越來越多的關注。這主要是由于相比其他的紫外光源(如汞燈、激光)，其具有功耗低、設計靈活且調制帶寬高的優(yōu)勢。而DUV LED的帶寬嚴重依賴于器件尺寸，器件尺寸越小，其帶寬越高。但是，隨著深紫外微型發(fā)光二極管(μLED)的尺寸減少，盡管其帶寬得到提高，但是其光...