大口徑超輕量化碳化硅反射鏡超精密銑磨技術(shù)(特邀)

摘要： 在分析了超輕量化大口徑碳化硅(SiC)反射鏡(輕量化率≥90%)表面去除原理和難點的基礎(chǔ)上，為了實現(xiàn)此類型反射鏡的快速加工，提出了一種采用有限元分析進行驗證的五軸高效超精密銑磨方法。通過對反射鏡銑磨過程中產(chǎn)生共振的機理進行分析，解釋了共振的原因，利用有限元分析方法進行仿真模擬，驗證了加工過程鏡面不會被破壞且系統(tǒng)不發(fā)生共振，設(shè)計環(huán)形工裝支撐并對口徑Ф510 mm、壁厚4 mm、輕...