高效鈮酸鋰薄膜波導(dǎo)模斑轉(zhuǎn)換器設(shè)計(jì)

摘要： 鈮酸鋰薄膜光子集成技術(shù)在高速光電子領(lǐng)域不斷凸顯，被廣泛用于各種片上功能實(shí)現(xiàn)，如電光調(diào)制、光頻梳、濾波器、非線性光學(xué)頻率轉(zhuǎn)換器、非線性量子光源、激光器等。在鈮酸鋰薄膜光子集成技術(shù)發(fā)展過程中，目前面臨的一個(gè)重要的技術(shù)瓶頸就是鈮酸鋰薄膜納米波導(dǎo)與單模光纖的高效耦合。針對(duì)這一問題，設(shè)計(jì)了一種基于SiO2、SiON錐形結(jié)構(gòu)以及雙層鈮酸鋰錐形結(jié)構(gòu)的模斑轉(zhuǎn)換器，實(shí)現(xiàn)鈮酸鋰薄膜納米波導(dǎo)與單模光...