緊湊型雙路TEA CO₂激光器諧振腔熱穩(wěn)定性及補(bǔ)償

摘要： 通過實(shí)驗(yàn)和仿真的方法，研究了多點(diǎn)分布的內(nèi)部熱源加熱作用對緊湊型雙路TEA CO2激光器諧振腔熱穩(wěn)定性的影響。采用直流風(fēng)扇熱交換抑制了高壓電源的局部加熱效應(yīng)，通過調(diào)整熱交換的效率，可在13～22℃環(huán)境溫度范圍內(nèi)，使前后諧振腔鏡受到的局部加熱形變作用和環(huán)境溫度引起的熱脹冷縮作用基本抵消。為實(shí)現(xiàn)更寬溫度范圍的諧振腔穩(wěn)定性，在有效熱交換措施的基礎(chǔ)上，根據(jù)模擬預(yù)測的形變規(guī)律，提出了諧振腔...