高純度石英玻璃40～110 GHz頻段電參數的表征（英文）

摘要： 基于127μm的高純度石英（99.999 7%）基底設計了共面波導（CPW）、微帶環(huán)形諧振器（MRR）結構，通過測試得到在40～110 GHz的頻率范圍內，CPW線的平均插入損耗在0.096～0.176 dB/mm之間。此外，采用MRR方法提取了石英的相對介電常數和損耗角正切值，該石英基底在V波段和W波段的相對介電常數分別介于3.7～3.85和3.85～4之間，損耗角正切值在V...