基于朗繆爾吸附模型的杜瓦真空壽命評估研究

摘要： 影響杜瓦真空壽命的主要是內(nèi)部材料出氣。針對紅外探測器杜瓦的出氣機理及密封前需長時間排氣特點，提出了以滿足朗繆爾吸附模型的脫附速率方程作為杜瓦出氣率模型的真空壽命評估方法。創(chuàng)新性地提出排氣結(jié)束時變溫監(jiān)測離子流的方法，獲得同覆蓋度下不同溫度的出氣率，消除覆蓋度的影響，提取了杜瓦的整體出氣激活能，推導(dǎo)出存儲溫度下初始出氣率及出氣率隨時間變化的關(guān)系。實驗發(fā)現(xiàn)三個杜瓦在不同測試條件下獲得...