氧氣傳感760 nm垂直腔面發(fā)射半導(dǎo)體激光器
紅外與毫米波學(xué)報(bào)
頁(yè)數(shù)： 9 2023-08-15
摘要： 在國(guó)內(nèi)首次報(bào)道了氧氣傳感專(zhuān)用760 nm單模、波長(zhǎng)可調(diào)諧的垂直腔面發(fā)射激光器（Vertical Cavity SurfaceEmitting Laser, VCSEL），詳細(xì)報(bào)道了760 nm VCSEL設(shè)計(jì)方法與器件制備結(jié)果。通過(guò)分析AlGaAs量子阱的增益特性，確定了量子阱組分及厚度參數(shù)，并設(shè)計(jì)了室溫下增益峰與腔模失配為10 nm的VCSEL激光器結(jié)構(gòu)，完成了VCSEL結(jié)構(gòu)...
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