考慮稀薄效應(yīng)的微槽道流動線性穩(wěn)定性

摘要： 微槽道是微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的重要組成部件，小尺度特征引起的稀薄效應(yīng)是影響其流動穩(wěn)定性不可忽視的重要因素，發(fā)展適用于稀薄流的穩(wěn)定性分析方法，揭示稀薄效應(yīng)對微槽道流動穩(wěn)定性的影響規(guī)律，對于微機(jī)電系統(tǒng)功能的實現(xiàn)和性能的改善具有重要意義。基于Boltzmann Bhatnagar-Gross-Krook(Boltzmann-BGK)方程，結(jié)合Maxwell邊界條件，通過求解特征值問...