電介質(zhì)表面金屬導(dǎo)線激光直寫技術(shù)研究進展

摘要： 電介質(zhì)表面金屬導(dǎo)線在微電子、光電子、機電系統(tǒng)等領(lǐng)域的需求極大.作為一種無掩膜柔性制造技術(shù)，激光直寫可在多種電介質(zhì)表面制造任意形狀金屬導(dǎo)線，近年來迅速發(fā)展.基于激光與材料相互作用的光化學(xué)和光熱效應(yīng)，電介質(zhì)表面金屬導(dǎo)線激光直寫技術(shù)可分為光致化學(xué)還原金屬離子、選擇性激光燒結(jié)、激光誘導(dǎo)向前轉(zhuǎn)移、激光加熱還原金屬離子等.文中詳細介紹了幾種金屬導(dǎo)線激光直寫技術(shù)的原理、特點以及最新研究進展，...