管徑漸縮式靜電透鏡束流動(dòng)力學(xué)研究

摘要： 電透鏡是橫向壓縮帶電粒子束的常用技術(shù)手段，在獲得高空間分辨、高亮度等高品質(zhì)聚焦電子束/離子束/正電子束方面發(fā)揮著重要作用。針對(duì)低能、大束斑帶電粒子束的聚焦過程，本文設(shè)計(jì)了基于管徑漸縮式簡單電極結(jié)構(gòu)的電透鏡聚焦方法，采用SIMION模擬結(jié)合電子束實(shí)驗(yàn)的方式對(duì)該電透鏡中涉及的關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了研究，研究了透鏡聚焦效率及聚焦束斑等核心性能的影響因素及分布規(guī)律。結(jié)果顯示：通過合理布局透鏡結(jié)...