五維自動調(diào)整差動共焦間隙測量方法

摘要： 為精確、快速測量鏡組內(nèi)各透鏡間的軸向間隙，提出一種基于五維自動調(diào)整的差動共焦間隙測量方法。該方法根據(jù)CCD探測器實時獲取的光斑信號檢測被測鏡組光軸的平移偏差與傾斜偏差，依據(jù)偏差信息、通過五維自動調(diào)整技術(shù)實現(xiàn)鏡組高精度調(diào)整，再利用差動共焦高精度層析定焦和鏡組內(nèi)部光線追跡實現(xiàn)軸向間隙高精度測量。分析和實驗表明，本方法可以有效提高姿態(tài)調(diào)整效率3.4倍，透鏡間隙重復測量精度可達到0.5...