超輕量化碳化硅掃描反射鏡組件設(shè)計

摘要： 為實(shí)現(xiàn)(165mm×96mm)矩形掃描反射鏡組件的輕量化并保證反射鏡面形精度與組件支撐剛度，提出了一種錐套柔節(jié)一體化的背部支撐方法，實(shí)現(xiàn)了重量小于0.5kg的超輕量化碳化硅反射鏡組件設(shè)計。鏡體材料的選擇為碳化硅，支撐結(jié)構(gòu)材料選擇了銦鋼。通過有限元仿真對掃描反射鏡組件進(jìn)行了仿真分析，并采用ZYGO干涉儀對實(shí)際的反射鏡組件進(jìn)行了檢測。實(shí)驗(yàn)表明，在各方向重力的工況和軸系驅(qū)動時的扭矩作...