基于拓?fù)鋬?yōu)化的電滲流微混合器電極

摘要： 電滲是當(dāng)前芯片實(shí)驗(yàn)室設(shè)備中微流體常用的驅(qū)動(dòng)方式之一，其中電極版圖對(duì)控制電滲驅(qū)動(dòng)的外電場(chǎng)起到關(guān)鍵作用。針對(duì)電滲流電極版圖大多基于尺寸優(yōu)化和形狀優(yōu)化的方法難以大幅提升微流控器件性能的問(wèn)題，建立電滲流電極拓?fù)鋬?yōu)化模型，采用濾波方程和閾值投影控制電極結(jié)構(gòu)的特征尺寸，通過(guò)連續(xù)伴隨分析方法獲得模型的伴隨敏度，進(jìn)而演化電極版圖的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)變量，最終實(shí)現(xiàn)電滲流電極的拓?fù)鋬?yōu)化?；谏鲜鐾?fù)鋬?yōu)化方法...