納米級(jí)運(yùn)動(dòng)軌跡規(guī)劃和控制

摘要： 為了提高超精密設(shè)備中多自由度工作臺(tái)的效率和精度，在滿足納米精度要求的同時(shí)提高工程調(diào)試與集成效率，提出了一種針對(duì)多自由度工作臺(tái)的軌跡規(guī)劃方案。對(duì)前道工藝的應(yīng)用場(chǎng)景和機(jī)電系統(tǒng)能力進(jìn)行分析描述，聚焦軌跡規(guī)劃的難點(diǎn)，提出了整定控制參數(shù)和確定軌跡動(dòng)力學(xué)約束參數(shù)的方法。通過差分進(jìn)化算法整定反饋控制器參數(shù)，再以控制器的實(shí)際跟蹤效果和應(yīng)用需求為優(yōu)化目標(biāo)，運(yùn)用蒙特卡洛算法對(duì)參考軌跡進(jìn)行優(yōu)化迭代。...