三自由度壓電偏擺臺耦合遲滯模型建模與逆補(bǔ)償

摘要： 為了解決三自由度壓電驅(qū)動納米偏擺臺中的多軸耦合與遲滯問題，設(shè)計了一種可以同時表征多個壓電驅(qū)動器間耦合效應(yīng)及其自身遲滯效應(yīng)的耦合遲滯模型，并利用其逆模型進(jìn)行前饋補(bǔ)償以提升平臺的定位和軌跡跟蹤精度。首先，搭建了三自由度壓電驅(qū)動偏擺臺的控制系統(tǒng)并建立其運(yùn)動學(xué)模型，將末端平臺三自由度運(yùn)動轉(zhuǎn)化為三個壓電驅(qū)動器的輸出。然后，建立基于Prandtl-Ishlinskii模型的耦合遲滯模型，并...