激光差動共焦透鏡中心偏的自動測量

摘要： 針對現(xiàn)有中心偏差測量方法中測量精度低、透鏡姿態(tài)調(diào)整人為干擾大的問題，提出一種差動共焦透鏡中心偏自動測量方法。該方法通過差動共焦定焦技術(shù)，依據(jù)差動共焦軸向光強響應曲線的過零點精確對應被測鏡特征點這一特性，實現(xiàn)對被測鏡貓眼點及共焦點的精準定位；通過高精度氣浮轉(zhuǎn)軸驅(qū)動被測鏡旋轉(zhuǎn)，用位移傳感器、圓光柵記錄被測鏡的位置信息，結(jié)合五維位姿自動調(diào)整機構(gòu)，實現(xiàn)對被測鏡姿態(tài)的高精度校正，消除姿態(tài)...