柵控二極管ESD工藝優(yōu)化方法研究
固體電子學(xué)研究與進(jìn)展
頁數(shù): 4 2023-08-25
摘要: 為解決通過更改器件設(shè)計(jì)來提升電路抗靜電放電(ESD)能力時(shí)成本高的問題,從柵控二極管的工藝出發(fā),研究CAN總線電路抗ESD能力提升方法。通過TCAD仿真,評估了溝道摻雜對于柵控二極管抗ESD能力的影響,發(fā)現(xiàn)調(diào)整ESD離子注入工藝可以優(yōu)化柵控二極管導(dǎo)通電阻,提高ESD保護(hù)窗口內(nèi)的泄流能力,將電路抗ESD能力從2 000 V提高到3 000 V,為電路級芯片的失效問題提供了一種解決...