一種晶圓級(jí)封裝的MEMS數(shù)控衰減器

摘要： 設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了一種晶圓級(jí)封裝的三位MEMS數(shù)控衰減器，工作頻段DC～15 GHz，衰減范圍0～35 dB，步進(jìn)5 dB。衰減器采用MEMS工藝實(shí)現(xiàn)，信號(hào)傳輸采用共面波導(dǎo)（CPW）結(jié)構(gòu)，6個(gè)直接接觸式懸臂梁MEMS開關(guān)對(duì)稱放置實(shí)現(xiàn)不同衰減量的切換，每個(gè)開關(guān)帶有三個(gè)觸點(diǎn)，電阻網(wǎng)絡(luò)采用T型結(jié)構(gòu)，整個(gè)衰減器實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)封裝。測(cè)試結(jié)果顯示，DC～15 GHz頻段內(nèi)實(shí)現(xiàn)了8個(gè)衰減態(tài)，衰減器插入損...