基于電路和版圖輔助的集成電路失效定位研究

摘要： EMMI和OBIRCH是通用的集成電路失效定位方法，二者屬于器件級定位，能夠將失效縮小至局部，但可能無法精確定位失效結構。在EMMI或者OBIRCH技術基礎上，提出一種基于電路原理/仿真、版圖、微探針測試等來輔助電路分析的定位方法。首先通過有效電激勵進行EMMI和OBIRCH分析，確認標記點是否屬于失效的功能電路；再通過電路原理分析或版圖確定可能的漏電位置和結構，最后經(jīng)電路仿真...