高靈敏度ZnO納米梁諧振式加速度計(jì)
傳感器與微系統(tǒng)
頁(yè)數(shù): 4 2023-08-10
摘要: 針對(duì)諧振式加速度計(jì)靈敏度較低的問題,設(shè)計(jì)了一種基于化學(xué)氣相沉積(CVD)法制備的ZnO納米線作諧振梁的諧振式加速度計(jì),采用了雙諧振梁的差分結(jié)構(gòu),利用混頻檢測(cè)方式進(jìn)行諧振梁的激振和拾振。實(shí)現(xiàn)了超高靈敏度加速度檢測(cè)。使用COMSOL Multiphysics軟件建立加速度計(jì)結(jié)構(gòu)原型,仿真得到諧振梁的諧振頻率分別為1 926.480 kHz和1 926.499 kHz;在±5 g_n...