MEMS三軸加速度計誤差標(biāo)定與補(bǔ)償方法研究

摘要： 為了提高微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)三軸加速度計的測量精度，建立了MEMS三軸加速度計卡爾曼濾波模型，根據(jù)MEMS三軸加速度計的輸出誤差模型，推導(dǎo)了基于六位置法的誤差補(bǔ)償數(shù)學(xué)模型，并給出了數(shù)學(xué)模型中補(bǔ)償參數(shù)的解算方法。最后基于自主研發(fā)的電子羅盤進(jìn)行了實(shí)驗驗證，實(shí)驗結(jié)果表明：經(jīng)過卡爾曼濾波后，MEMS三軸加速度計輸出噪聲減小了74%;經(jīng)過六位置法標(biāo)定后，MEMS三軸加速度計的測量精度提...