基于壓電式微機械超聲換能器陣列的無線能量傳輸設(shè)計

摘要： 利用氮化鋁薄膜壓電微機械換能器(PMUT)的生物兼容和CMOS電路兼容特性，提出了一種基于上述換能器陣列的聲學(xué)無線能量傳輸方法。為了得到最佳的輸出性能，對PMUT的結(jié)構(gòu)進行了優(yōu)化設(shè)計，采用派瑞林封裝保護PMUT的空腔和表面結(jié)構(gòu)，分析了PMUT在不同介質(zhì)中的電學(xué)和頻率性能，采用高密度并聯(lián)陣列降低器件阻抗、提高了總輸出電流，對PMUT及其應(yīng)用電路進行了設(shè)計與仿真。PMUT在壓電薄膜...