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一種具有高能量分辨率Al2O3鈍化結(jié)區(qū)的PIN探測(cè)器

半導(dǎo)體光電 頁數(shù)： 6 2023-12-15
摘要： 提出了一種Al2O3鈍化結(jié)區(qū)的PIN探測(cè)器，與傳統(tǒng)PIN探測(cè)器不同的是，在器件正面的pn結(jié)和背面的高低結(jié)處沉積了10 nm厚的Al2O3薄膜。經(jīng)TCAD仿真結(jié)果表明，該探測(cè)器具有更低的漏電流和保護(hù)環(huán)處的電子電流密度，能對(duì)高能粒子射線入射產(chǎn)生良好的響應(yīng)。設(shè)計(jì)了兩種探測(cè)器的制備步驟并制備了器件，通過薄膜少子壽命的表征、器件的暗態(tài)I-V測(cè)試和241Am元素能譜測(cè)試對(duì)其進(jìn)...

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