激光差動共焦透鏡中心偏測量系統(tǒng)設(shè)計與實現(xiàn)

摘要： 針對國內(nèi)外透鏡中心偏高精度測量的迫切需求，研制了一套激光差動共焦透鏡中心偏測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)從中心偏非接觸測量的核心定焦原理入手，結(jié)合激光差動共焦定焦技術(shù)，解決了清晰度法定焦精度差的難題。在光學(xué)測量系統(tǒng)誤差分析的基礎(chǔ)上，對系統(tǒng)再次優(yōu)化設(shè)計，并利用差動共焦軸向光強響應(yīng)曲線過零點的位置與被測鏡貓眼和共焦點精確對應(yīng)這一特性，實現(xiàn)了透鏡中心偏的高精度測量。通過實驗表明，該系統(tǒng)測量精度為0...