基于凹面光柵的可調高分辨率單色儀結構設計及波長重復性分析

摘要： 凹面光柵兼具成像和色散的能力，采用凹面光柵分光的單色儀能夠很好實現(xiàn)小型化設計和應用到低于200 nm的真空紫外波段。光譜分辨率和波長重復性是單色儀的重要指標，針對單色儀的光譜分辨率，本文將光柵固有分辨率和由狹縫引起的增寬相結合推導出單色儀的光譜分辨率計算模型，利用自研微動狹縫進行實驗驗證，單色儀分辨率符合理論模型，極限分辨率優(yōu)于0.1 nm;針對單色儀的波長重復性，在單色儀光機...