高靈敏度熱膨脹陀螺敏感機(jī)理研究
壓電與聲光
頁數(shù): 7 2023-04-20
摘要: 該文提出了一種高靈敏度的熱膨脹陀螺,并對(duì)其敏感機(jī)理進(jìn)行了研究。通過COMSOL創(chuàng)建了該結(jié)構(gòu)的二維模型,并對(duì)其進(jìn)行了有限元分析。結(jié)果表明,輸入功率為5 mW,輸入角速度范圍為-1 000~1 000 (°)/s時(shí),提出的熱膨脹陀螺溫度靈敏度為2.12 mK·[(°)/s]
-1,具有陀螺效應(yīng),且熱膨脹陀螺靈敏度為1.98 mV·[(°)/s]
-1,非線性度為7.64%。...