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單軸MEMS熱膨脹流陀螺敏感機(jī)理三維有限元分析

壓電與聲光 頁數(shù)： 8 2022-12-22
摘要： 該文提出了一種單軸微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)熱膨脹流陀螺的基本結(jié)構(gòu)，并揭示了其敏感機(jī)理。通過有限元法，利用COMSOL Multiphysics建立了陀螺的三維模型，在有無角速度時對陀螺敏感元件的溫度場和等溫線變化情況進(jìn)行計(jì)算。結(jié)果表明，單軸MEMS熱膨脹流陀螺具有陀螺效應(yīng)，輸入角速度為[-1 080 (°)/s, 1 080 (°)/s],陀螺的結(jié)構(gòu)靈敏度為0.053 9 K/[...

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