熱振子式雙軸MEMS角速度陀螺敏感機(jī)理的研究

摘要： 該文給出了一種熱振子式雙軸微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)角速度陀螺的敏感機(jī)理。在給出雙軸敏感原理、熱振子的振動(dòng)模態(tài)和陀螺效應(yīng)的基礎(chǔ)上，對(duì)敏感結(jié)構(gòu)內(nèi)的溫度場(chǎng)進(jìn)行了計(jì)算。結(jié)果表明，開機(jī)1.8 s后在敏感結(jié)構(gòu)內(nèi)形成了一個(gè)穩(wěn)定的溫度場(chǎng)；當(dāng)有角速度加載時(shí)，熱振子隨著輸入角速度而移動(dòng)，造成溫度場(chǎng)偏移，兩個(gè)正交Y(X)方向上對(duì)稱設(shè)置的兩熱線溫差ΔT_Y(ΔT_X)隨著輸入角速度a_x(a_y)的加大...