面向制造的光學(xué)面形超精密測(cè)量技術(shù)研究進(jìn)展
激光與光電子學(xué)進(jìn)展
頁(yè)數(shù): 14 2023-02-10
摘要: 超精密測(cè)量是光學(xué)制造的前提。高精度的光學(xué)面形測(cè)量仍然遵循零位檢驗(yàn)原則,計(jì)算機(jī)生成全息圖(CGH)是自由曲面等復(fù)雜面形零位檢驗(yàn)所必需的補(bǔ)償器。為此,面向制造過(guò)程,重點(diǎn)論述CGH補(bǔ)償檢驗(yàn)原理及其衍射級(jí)次的鬼像干擾、投影畸變校正、測(cè)量不確定度與絕對(duì)檢驗(yàn)問(wèn)題,探討CGH補(bǔ)償檢驗(yàn)的局限與應(yīng)對(duì)方法。針對(duì)制造過(guò)程中產(chǎn)生的動(dòng)態(tài)演變局部大誤差的測(cè)量難題,論述子孔徑拼接測(cè)量、自適應(yīng)補(bǔ)償干涉測(cè)量方法...