光學(xué)非球面面形輪廓檢測技術(shù)

摘要： 隨著科技的進步，尖端產(chǎn)品和先進光電系統(tǒng)對光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量要求越來越高，光學(xué)非球面元件能有效地校正像差、減少系統(tǒng)所需光學(xué)元件數(shù)量、減輕系統(tǒng)重量，因此被廣泛應(yīng)用。其特殊的面形特征決定了它的加工和檢測相對于球面更加困難，而檢測精度直接決定了加工精度，非球面檢測技術(shù)的重要性顯而易見。根據(jù)測量原理對光學(xué)非球面的檢測技術(shù)進行了概述；根據(jù)目前直接面形輪廓法在光學(xué)非球面的加工中應(yīng)用最廣的情況...