紅外用薄形硅窗口加工工藝研究

摘要： 為了滿足光電系統(tǒng)中降低載荷和高精度的需求，紅外用大尺寸硅窗口經(jīng)減薄設(shè)計后，面形精度要求相比一般紅外窗口零件提高1倍，是普通薄形光學窗口零件（徑厚比為10:1）的2倍以上，若仍使用常規(guī)工藝進行加工，零件精度無法滿足技術(shù)指標要求。本文結(jié)合古典拋光的加工優(yōu)勢，針對硅單晶材料特性，優(yōu)化膠合劑配比，采用膠點分布的方式粘結(jié)加工，通過改變設(shè)備主軸轉(zhuǎn)速、零件加工溫度等相關(guān)技術(shù)參數(shù)，以及對常規(guī)退...