一種基于非共光路外差激光干涉反饋的新型納米精密定位系統(tǒng)

摘要： 針對精密定位平臺大行程下定位精度不足的問題，提出一種基于非共光路外差激光干涉反饋的新型納米精密定位系統(tǒng)。系統(tǒng)由非共光路外差激光干涉和高精度光柵構(gòu)成復(fù)合反饋，保留了高精度光柵大行程高分辨率的優(yōu)勢，同時結(jié)合非共光路外差激光干涉協(xié)同定位，消除了光柵的安裝誤差和變形對定位精度的影響，提升了大行程下的定位精度。系統(tǒng)采用基于BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的預(yù)測微調(diào)定位技術(shù)，一定程度上提升了定位效率。實驗結(jié)果...