亞納米驅(qū)動分辨力的六自由度微動臺

摘要： 微位移工作臺是實現(xiàn)高精度定位的關(guān)鍵部件，傳統(tǒng)的工作臺自由度少且分辨力不高，不能滿足應(yīng)用需求，因此提出一種六自由度高精度微位移工作臺結(jié)構(gòu)方案并驗證了其性能。在整體結(jié)構(gòu)上采用“串并聯(lián)混合驅(qū)動”的方式和中空結(jié)構(gòu)，將六個自由度的運(yùn)動合理地分布在平動層，轉(zhuǎn)動層和支撐層三層結(jié)構(gòu)中，并設(shè)計開發(fā)了工作臺的運(yùn)動控制系統(tǒng)以及一套可搭配使用的運(yùn)動控制軟件。實驗結(jié)果表明，X,Y,Z軸線位移分別優(yōu)于20...