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多梁凹槽高g值加速度計(jì)的設(shè)計(jì)與分析

電子測(cè)量與儀器學(xué)報(bào) 頁數(shù): 8 2023-04-26
摘要: 針對(duì)目前航空航天、車輛碰撞分析等領(lǐng)域?qū)Ω遟值加速度計(jì)的迫切需求,設(shè)計(jì)了一種新型多梁凹槽壓阻式加速度計(jì),該加速度計(jì)利用變截面梁作為敏感梁來放大質(zhì)量塊的等效慣性力,并通過輔助梁與背面凹槽的組合有效提高結(jié)構(gòu)剛度,實(shí)現(xiàn)了高靈敏度輸出和良好的頻寬特性。建立了加速度計(jì)的力學(xué)模型,并通過ANSYS有限元軟件仿真分析,優(yōu)化獲得了加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)和尺寸。利用敏感梁表面路徑,分析總結(jié)其應(yīng)力分布規(guī)律,...

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