三端梁結(jié)構(gòu)MEMS紅外光源設(shè)計與仿真研究

摘要： 設(shè)計并研究了一種三端梁結(jié)構(gòu)的微機電系統(tǒng)(MEMS)紅外光源，用于非色散紅外吸收光譜氣體傳感器。MEMS紅外光源以硅(Si)為基底，鉑/鈦(Pt/Ti)層為加熱單元和傳感單元，采用圓環(huán)狀電阻結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了低功耗和良好的溫度均勻性。光源采用三梁固支懸浮薄膜結(jié)構(gòu)，有效地降低了輻射區(qū)熱量向基底的傳導。紅外光源采用預(yù)釋放的工藝方法，解決了Si基釋放不完全導致的熱傳導過大的問題。在玻璃襯底淀積...