面向硅微諧振式加速度計的高精度片上溫度控制器

摘要： 為提高硅微諧振式加速度計在變溫環(huán)境下的精度與穩(wěn)定性，設計并制備了一種高精度的片上溫度控制器，它由硅襯底、鉑電阻加熱器、測溫電阻和溫度控制電路組成。對溫度控制器的傳熱模型進行理論分析，使用COMSOL對片上溫度控制器進行仿真。利用微加工技術制備溫度控制器，并設計實驗對溫控精度、長期穩(wěn)定性、環(huán)境溫度影響、功耗等指標進行測試。結果表明，溫度控制器可以在600 s內穩(wěn)定在設定溫度±0....