高波前擬合精度的緊湊型音圈變形鏡（英文）

摘要： 為了滿足小型化自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)校正波前畸變的需求，基于系統(tǒng)理論分析設(shè)計(jì)了一種使用微型音圈驅(qū)動(dòng)器的變形鏡。使用電磁理論和有限元方法優(yōu)化了微型音圈驅(qū)動(dòng)器的結(jié)構(gòu)參數(shù)。從熱變形、共振頻率、耦合系數(shù)等多個(gè)參數(shù)的角度對(duì)變形鏡進(jìn)行了優(yōu)化。最后根據(jù)影響函數(shù)完成了波前擬合和殘差計(jì)算。優(yōu)化后的69單元緊湊型音圈變形鏡具有大相位調(diào)制量、良好的熱穩(wěn)定性，第一共振頻率為2 220 Hz。對(duì)于PV值為1μm...