非球面納米精度可控柔體制造技術(shù)

摘要： 非球面被廣泛應(yīng)用于光學(xué)系統(tǒng),其可被用來整形像差,改善畫質(zhì),同時(shí)使光學(xué)系統(tǒng)更為緊湊,要求其具有納米級(jí)面形精度與低吸收光學(xué)性質(zhì).目前超精密制造過程中,以恒定的去除函數(shù)解算面形誤差,而光學(xué)表面誤差分布復(fù)雜,針對(duì)不同頻段與高度誤差需迭代多次.針對(duì)這一問題,本研究團(tuán)隊(duì)提出了可控柔體制造技術(shù),即去除函數(shù)隨不同誤差分布可控改變.本團(tuán)隊(duì)基于該理念,將傳統(tǒng)連續(xù)出射的離子束可控離散,實(shí)現(xiàn)脈沖離子束...