批產化空間透射鏡頭自動裝校系統(tǒng)的設計和驗證
光子學報
頁數(shù): 13 2023-09-20
摘要: 針對批產化空間透射鏡頭短周期、高精度和高像質一致性的研制需求,研發(fā)了一種自動調整、在線檢測、自主分析和自動校正波像差的自動裝校系統(tǒng)。首先,設計了透鏡自動調整方式和懸浮膠粘的結構形式,采用坐標投影將透鏡失調量的測量值轉換為調整裝置的線性調整量,利用電機驅動調整裝置的組合運動實現(xiàn)透鏡自動調整。然后,設計了鏡頭調整檢測集成平臺和波像差校正模塊,根據(jù)系統(tǒng)波像差測試結果自主分析透鏡自由度...