高數(shù)值孔徑寬譜段折反射式物鏡設(shè)計

摘要： 針對基因測序、半導(dǎo)體檢測、工業(yè)顯微鏡及生命醫(yī)療等領(lǐng)域?qū)︼@微物鏡日益增長的技術(shù)需求，成像譜段向著寬譜段深紫外（DUV）方向發(fā)展，目前非浸液式顯微物鏡存在數(shù)值孔徑（NA）低、視場小、寬譜段內(nèi)色差嚴(yán)重等問題?；诖?，提出一款折反射式物鏡。所提折反射式物鏡具有寬譜段、高數(shù)值孔徑、消色差等優(yōu)點，根據(jù)折反射式結(jié)構(gòu)的消色差光學(xué)特性，鏡片只采用一種材料就可以校正色差。系統(tǒng)由12片鏡片組成，數(shù)值...