基于過焦掃描光學(xué)顯微鏡的光學(xué)元件亞表面缺陷檢測方法

摘要： 微/納米尺度亞表面缺陷會降低光學(xué)元件等透明樣品的物理特性，嚴(yán)重影響光學(xué)及半導(dǎo)體領(lǐng)域加工制造技術(shù)的發(fā)展。為了快速、無損檢測透明樣品亞表面缺陷，本文針對光學(xué)元件亞表面內(nèi)微米量級缺陷的檢測需求，提出了一種基于過焦掃描光學(xué)顯微鏡（TSOM）的檢測方法。利用可見光光源顯微鏡和精密位移臺，沿光軸對亞表面缺陷進行掃描，得到亞表面缺陷的一系列光學(xué)圖像。將采集到的圖像按照空間位置進行堆疊，生成T...