靜電MEMS微鏡諧振扭轉(zhuǎn)角軌跡正弦估計(jì)的偏差研究
西北工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào)
頁數(shù): 6 2023-04-15
摘要: 靜電MEMS微鏡扭轉(zhuǎn)角實(shí)時(shí)獲取通常是通過測量出微鏡的諧振幅值和相位,按照正弦關(guān)系去估計(jì)任意時(shí)刻的扭轉(zhuǎn)角數(shù)值,但關(guān)于這種正弦軌跡的假設(shè)存在多大的偏差的相關(guān)報(bào)道很少。使用顯微激光多普勒方法,對C1100型MEMS微鏡在不同驅(qū)動(dòng)頻率和驅(qū)動(dòng)電壓下的真實(shí)諧振扭轉(zhuǎn)角軌跡進(jìn)行了測量,并對比了真實(shí)軌跡和用正弦曲線擬合軌跡的偏差。結(jié)果證明,方波驅(qū)動(dòng)下的MEMS微鏡,其真實(shí)軌跡和正弦擬合軌跡并不完...