加窗加權插值離散傅里葉變換在波長掃描干涉儀中的應用

摘要： 針對現有的波長掃描干涉儀在采樣范圍內信號周期數較少時含有比較嚴重的信號頻譜泄漏，導致較大的恢復誤差的問題，提出一種基于加窗加權插值離散傅里葉變換(DFT)的頻率估計的光程差恢復算法，該算法在信號采樣長度為2～3個周期時仍能很好地抑制頻譜泄漏．仿真結果顯示：當周期數較少時，該算法恢復精度相比于現有的傅里葉變換相位斜率法有很大提高．對平面鏡及單刻線標準樣板的測量實驗顯示：加窗加權插...